光刻显影的原理

显影是在正性光刻胶的曝光区和负性光刻胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解,在光刻胶上形成三维图形的一种光刻技术 。

光刻显影的原理

文章插图
【光刻显影的原理】光刻技术就是在需要刻蚀的表面涂抹光刻胶,干燥后把图形底片覆盖其上,有光源照射,受光部分即可用药水洗掉胶膜,没有胶膜的部分即可用浓酸浓碱腐蚀表面 。腐蚀好以后再洗掉其余的光刻胶 。现在为了得到细微的光刻线条使用紫外线甚至X射线作为光源 。