mocvd是什么设备


mocvd是什么设备

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【mocvd是什么设备】MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemical Vapor DePosition)的英文缩写 。MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术.